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技術指標 |
數據 |
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有效行程 |
X軸:300mm Y軸:300mm |
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最大速度 |
X軸:1000mm/s Y軸:1000mm/s |
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速度穩定性 |
X軸:±1‰@300mm/s Y軸:1‰@300mm/s |
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最大加速度 |
X軸:1G Y軸:1G |
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重復定位精度 |
X軸:±0.3μm Y軸:±0.3μm |
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絕對定位精度 |
X軸:±0.5μm Y軸:±0.5μm |
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整定時間 |
X軸:20ms@±1μm/0.6G Y軸:50ms@±1μm/0.6G |
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直線度 |
X軸:±1.5μm Y軸:±1.5μm |
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行走平面度 |
X軸:±3μm Y軸:±3μm |
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XY正交度 |
±3μm |
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最大負載 |
10kg |
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光柵尺分辨率 |
0.1μm |
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13655559489 （孫經理）