聯(lián)系我們
重復(fù)定位精度 ±1μm
高動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性
低靜態(tài)抖動(dòng)
快速整定
支持非標(biāo)定制
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技術(shù)指標(biāo) |
數(shù)據(jù) |
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有效行程 |
X軸:300mm Y軸:300mm |
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最大速度 |
X軸:1000mm/s Y軸:1000mm/s |
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最大加速度 |
X軸:0.6G Y軸:0.6G |
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重復(fù)定位精度 |
X軸:±0.5μm Y軸:±1μm θ軸：±2arcsec |
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直線度 |
X軸:±4μm Y軸:±4μm |
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行走平面度 |
X軸:±5μm Y軸:±4μm |
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XY正交度 |
±5μm |
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最大負(fù)載 |
10kg |
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光柵尺分辨率 |
0.1μm |
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13655559489 （孫經(jīng)理）