重復(fù)定位精度±100nm
直線度±1um
高動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性
低靜態(tài)抖動(dòng)
快速整定
支持非標(biāo)定制
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行程 |
300*300mm |
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分辨率 |
20nm |
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絕對(duì)定位精度 |
±300nm |
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重復(fù)定位精度 |
±100nm |
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速度 |
1m/s |
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加速度 |
1G |
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位置穩(wěn)定性 |
±20nm |
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行走平面度 |
±1um |
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直線度 |
±1um |
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Pitch |
±2arcsec |
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Yaw |
±2arcsec |
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Roll |
±2arcsec |
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XY正交度 |
±1μm |
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