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高速精密貼裝設(shè)備精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

產(chǎn)品解決了高精度定位及運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)最大速度≥450 mm/s，平均加速度≥0.6G，單軸重復(fù)定位精度≤±1μm（可達(dá)±100nm）。能廣泛應(yīng)用于裝備制造、無(wú)損檢測(cè)、芯片檢測(cè)、AOI檢測(cè)、晶圓切割、3C電子封裝等高精尖領(lǐng)域，為相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供強(qiáng)有力的技術(shù)支撐和定制化國(guó)產(chǎn)替代解決方案。本產(chǎn)品被評(píng)為安徽省首臺(tái)套重大技術(shù)裝備。

更多產(chǎn)品

應(yīng)用案例

行程:960mm×1100mm
重復(fù)定位精度:±1um
絕對(duì)定位精度:±3um

PCB板激光鉆孔平臺(tái)

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
行程：300mm×300mm
重復(fù)定位精度：±0.5μm
絕對(duì)定位精度：±1μm
負(fù)載：10kg
最大加速度：0.5G
最大速度：300mm/s
直線度：±2μm
垂直度：±2μm
行走平面度：±2μm
速度均勻性：1‰@300mm/s

陶瓷激光切割平臺(tái)

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
行程：350mm×350mm
重復(fù)定位精度：±1μm
絕對(duì)定位精度：±2μm
負(fù)載：10kg
直線度：±2μm
最大加速度：1G
最大速度：800mm/s

汽車零部件產(chǎn)線精密檢測(cè)平臺(tái)

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
行程：1200mm×1500mm
重復(fù)定位精度：±1μm
絕對(duì)定位精度：±3μm
負(fù)載：10kg
直線度：±2μm
最大加速度：0.8G
最大速度：1200mm/s

玻璃面板激光切割平臺(tái)

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
行程：1250mm×500mm
重復(fù)定位精度：±0.7μm
絕對(duì)定位精度：±1.5μm
負(fù)載：10kg
最大加速度：0.5G
最大速度：1000mm/s

PCB檢測(cè)平臺(tái)

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
行程：600mm×600mm
重復(fù)定位精度：±1μm
絕對(duì)定位精度：±3μm
負(fù)載：20kg
直線度：±2μm
最大加速度：2G
最大速度：1500mm/s

非金屬材料精密激光切割平臺(tái)

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
行程：350mm×350mm
重復(fù)定位精度：±1μm
絕對(duì)定位精度：±2μm
速度穩(wěn)定性：1‰
負(fù)載：10kg
直線度：±2μm
最大加速度：1G
最大速度：800mm/s
θ軸角度重復(fù)定位精度：±3arcsec
θ軸角度絕對(duì)定位精度：±10arcsec

晶圓檢測(cè)平臺(tái)

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
行程：350mm×350mm
重復(fù)定位精度：±0.3μm
絕對(duì)定位精度：±0.5μm
負(fù)載：10kg
直線度：±1.5μm
最大加速度：1G
最大速度：800mm/s

AOI精密測(cè)量平臺(tái)

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
行程：1300mm
重復(fù)定位精度：±0.75μm
絕對(duì)定位精度：±1.5μm
直線度：±4μm
最大加速度：0.5G
最大速度：800mm/s

LDI激光直寫(xiě)平臺(tái)